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專業知識

1. 真空
在指定空間內,低於環境大氣壓力的氣體狀態。

2. 真空度
表示真空狀態下氣體的稀薄程度,通常用壓力值來表示。

3. 真空區域劃分
低真空 105Pa-102Pa
中真空 102Pa-10-1Pa
高真空 10-1Pa-10-5Pa
超高真空 10-5Pa-10-9Pa
極高真空 <10-9Pa

4. 全壓力
混合氣體中所有組分壓力的綜合。

5. 分壓力
混合氣體中某一組分的壓力。

6. 標準環境條件
溫度為 20℃,相對濕度為65%,大氣壓力為1 個標準大氣壓1atm =101325Pa。

7. 氣體的標準狀態
溫度為 0℃,壓力為1 個標準大氣壓1atm =101325Pa。

8. 平均自由程
一個分子與其它氣體分子每連續兩次碰撞走過的路程,叫自由程。相當多的不同自由程的平均值,叫
平均自由程。

9. 粘滯流
氣體分子的平均自由程遠小於導管最小截麵尺寸的流態。因此,流動取決於氣體的粘滯性,粘滯流可
以是層流或滯流。

10. 分子流
氣體分子的平均自由程遠大於導管截麵最大尺寸的流態。

11. 中間流
在粘滯流和分子流之間狀態下氣體通過導管的流動。

12. 流量
在給定時間間隔內通過某一截麵的氣體量除以該時間。

13. 吸附
固體或液體對氣體或蒸氣的捕集現象。

14. 解吸
被材料吸附的氣體或蒸氣的釋放現象。

15. 去氣
氣體從材料中人為的解吸。

16. 放氣
氣體從材料中自然的解吸。

17. 滲透
氣體通過固體阻擋層的現象。

注:隻列出常用真空技術術語,如果需要其它術語的解釋,請查閱真空標準 GB/T3163-2007。

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